半导体 集成电路 芯片工业生产超净间设计和装修

为了满足一些对质控要求高的工业车间生产环境，很多企业选择建设无尘车间。精密制造工业以半导体、晶片、集成电路等制造工艺的需求设置无尘室，业内也叫超净间。这种无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，这些制造品类的无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

半导体、晶片、集成电路超净间的建设专业度高且程序复杂，要打造真正意义上满足标准且适合工艺流程的超净间包含多种专业维度的建设内容。譬如：建筑构造、内部平面、工艺布置、装饰装修、人员和物料净化、暖通系统建设、自控系统建设、通排风系统建设、气体供应系统建设、管网建设等。这些内容每一个维度都关系着该车间目标控制标准的达成。那么有人就会问了，这么多内容那得找多少不同技术领域的团队来建设，在衔接管理上岂不是相当麻烦。没错，半导体超净间涉及的技术领域多，如果甲方一个类别一个类别去寻找、对接、筛选分包商，确实是耗时又耗力。这个时候，选择与洁净工程领域的EPC集成服务商合作，这些问题就可以迎刃而解了。CEIDI西递这类洁净工程EPC(工程总承包)集成服务商通常会承担从洁净工程的整体规划开始，到内部平面设计、各类技术方案、施工建设及过程监控、实验家具及内部配套工程一体化的集成服务整体解决方案。

因为电子工业超净间【集成电路/半导体超净间】建设环节较为复杂，我们摘出在半导体超净间建设环节中，暖通系统和气体供应系统的建设相关内容加以概述。

半导体、晶片、集成电路超净间暖通系统设计要点：

1.半导体、晶片、集成电路超净间多以万级(局部百级)为设计目的。要达到这样的标准，就必须选择高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器，对进入无尘车间的空气，进行一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

2.除了考虑洁净的空气送风外，还要考虑合理的气流分布流型。譬如在工作区应避免涡流区就一个尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

3.要根据无尘车间的规格大小来选择合适的送风设备，达到足够的送风量，以达到可以稀释空气的含尘浓度，又能保证有稳定气流流型的目的。

半导体、晶片、集成电路超净间供气系统设计要点：

在工艺技术较为先进的半导体晶圆工厂的制造过程中，工艺步骤达几百道，前后要使用几十种不同种类的气体。CEIDI西递在设计电子工业超净间【集成电路/半导体超净间】过程中会依据行业特色和自身经验判断用哪种供气方式更适合。譬如晶圆半导体超净车间，会推荐采用外购气体钢瓶或钢瓶组来输送供气，有易燃性气体、毒性气体、腐蚀性气体、惰性气体、氧化性气体组成的多种类特种气体需求的，选择这种方式会节省投资，且拥有使用方式灵活的优点，电耗及制气成本相对也比较低廉。缺点是在气体输送的过程中气体比较容易受到污染，对后期就整个供应系统的管理和维护要求较高。不过这对合作方是CEIDI西递这类总包服务商来说，基本上后续维护质量等问题无需担忧。

在半导体、晶片、集成电路这类电子工业超净间建设过程中，因为工艺复杂对环境要求高。要在一定空间内清除空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，控制室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和气流分布，将噪声振动和照明、静电控制在一定需求范围内，需要平面设计师和各技术段工程师非常精密的计算与合作，CEIDI西递EPC集成服务商的集成服务优势在这里可以比较明显的体现出来。设计团队、技术团队和项目施工团队已经过多年磨合，对工程建设的理念和进度配合都达成比较一致的思维，往往能在保质保量地完成工程建设的同时，将节能与实用性做充分的融合。

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